半導体検査は、集積回路製造プロセス全体における歩留まりと信頼性を確保する上で極めて重要なステップです。科学カメラは、中核的な検出器として決定的な役割を果たします。その解像度、感度、速度、そして信頼性は、マイクロスケールおよびナノスケールにおける欠陥検出と検査システムの安定性に直接影響を及ぼします。多様なアプリケーションニーズに対応するため、当社は大型高速スキャンから高度なTDIソリューションまで、包括的なカメラポートフォリオを提供しています。これらのカメラは、ウェーハ欠陥検査、フォトルミネッセンス試験、ウェーハ計測、パッケージング品質管理など、幅広い分野で採用されています。
スペクトル範囲: 180~1100 nm
典型的なQE: 63.9% @ 266 nm
最大ラインレート: 1 MHz @ 8 / 10 ビット
TDIステージ:256
データインターフェース: 100G / 40G CoF
冷却方法:空冷/液冷
スペクトル範囲: 180~1100 nm
典型的なQE: 50% @ 266 nm
最大ラインレート: 600 kHz @ 8 / 10 ビット
TDIステージ:256
データインターフェース: QSFP+
冷却方法:空冷/液冷
スペクトル範囲: 180~1100 nm
典型的なQE: 38% @ 266 nm
最大ラインレート: 510 kHz @ 8ビット
TDIステージ:256
データインターフェース: CoaXPress 2.0
冷却方法:空冷/液冷